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半導(dǎo)體微納檢測(cè)儀器 > Sentech德橢偏儀膜厚儀

RM 2000 光譜反射膜厚儀

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. 在垂直入射角的無接觸、光學(xué)反射測(cè)量，表征薄膜和大塊材料

.光譜范圍從200到1000 nm

. 功能強(qiáng)大的、獨(dú)特的分析軟件包FTPadv Expert

. 高穩(wěn)定的氘燈和鹵素鎢燈光源

. 高精度的樣品準(zhǔn)直，帶光學(xué)自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡ACT和顯微鏡

. 可選的XY掃描功能，最大200 mm行程，高空間分辨率

. 新式、易用、高效和耐用的用戶界面，包括預(yù)置應(yīng)用的功能強(qiáng)大的軟件包、呈現(xiàn)半導(dǎo)體微電子、磁性介質(zhì)、生命科學(xué)、顏色測(cè)量以及其他

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產(chǎn)品詳情

RM 2000

UV-VIS Spectroscopic Reflectometer

光譜反射膜厚儀

光譜臺(tái)式反射儀 RM 2000 是用于在寬光譜范圍內(nèi)表征薄膜和大塊材料的光學(xué)反射測(cè)量?jī)x器。紫外-可見光光學(xué)反射儀 RM 2000 提供垂直入射角的反射率譜，并通過 FTPadv Expert 軟件、按照樣品參數(shù)例如膜厚、吸收、組分、帶隙、顏色、光譜帶寬等進(jìn)行分析。

主要應(yīng)用是對(duì)透明和吸收襯底上的透明膜、半透明膜的快速、簡(jiǎn)便的膜厚測(cè)量。覆蓋了從 2 納米到100 微米的膜厚范圍，借助大容量、可擴(kuò)展的材料數(shù)據(jù)庫、儀器適用于多種材料體系。

RM 2000 測(cè)量反射率的原理是基于測(cè)量反射光強(qiáng)度、并與參比樣片的反射光強(qiáng)度進(jìn)行對(duì)比。參比樣片是儀器交付的一部分。

快速運(yùn)算法則確保實(shí)現(xiàn)光學(xué)測(cè)量、以及高重復(fù)率地計(jì)算膜厚。AutoModeling（自動(dòng)建模）功能可通過快速比較譜線數(shù)據(jù)庫、確定樣品類型。

紫外-可見光反射儀 RM 2000 包括臺(tái)式顯微鏡單元、帶樣片臺(tái)和用于照明、較小樣片光斑、以及探測(cè)反射光的光學(xué)設(shè)置，還包括樣片準(zhǔn)直功能、包括自動(dòng)準(zhǔn)直透鏡 ACT 和顯微鏡物鏡、用于準(zhǔn)確控制樣片的高度和傾斜度位置。電子機(jī)箱包括內(nèi)置的微控制器和光譜儀。電子機(jī)箱可通過以太網(wǎng) LAN、與任何運(yùn)行 MS Windows 操作系統(tǒng)的新型電腦連接。

紫外-可見光反射儀 RM 2000 可選配計(jì)算機(jī)控制 XY 掃描平臺(tái)、進(jìn)行樣片特性的掃描。掃描測(cè)量軟件可定義任意的測(cè)量圖案、用 2 維或 3 維圖顯示結(jié)果、并實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的統(tǒng)計(jì)。

用戶軟件易于操作、并清晰地呈現(xiàn)測(cè)量結(jié)果。軟件支持單層膜膜厚測(cè)量、也支持對(duì)復(fù)合多層膜的分析。軟件提供預(yù)置的、用戶定義的應(yīng)用程序。

Technical Specifications 技術(shù)指標(biāo)

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