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OAI 納米壓印模組 Nanoimprint Module

納米壓印模塊（特色NIL技術(shù)）
 

OAI納米壓印模塊系統(tǒng)是一種模塊化附件，可用于任何光刻機。 這種創(chuàng)新技術(shù)是由Hewlett Packard開發(fā)的一種低成本的研究和開發(fā)解決方案。 它使得能夠使用高產(chǎn)率脫模技術(shù)，并且適用于幾乎所有的光刻機系統(tǒng)。

Nanoimprint Module (featuring NIL Technology)

The OAI Nanoimprint Module System is a modular add-on that may be used on any mask Aligner. This innovative technology was developed at Hewlett Packard as a low-cost solution for research and development efforts. It enables the use of high-yield mold release technology and is adaptable to virtually all mask Aligner systems.