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多用途200mm RTP 設(shè)備,溫度范圍:室溫至1450°C,大氣壓到10-6 Torr 手動(dòng)或 自動(dòng)基片裝載。
Specification tables
規(guī)格參數(shù)表
Temperature uniformity
溫度均勻性
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