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SAM 301
Scanning Acoustic Microscope
超聲波掃描顯微鏡

利用材料內(nèi)部組織因密度不同而對超聲波聲阻抗、超聲波吸收與反射程度產(chǎn)生差異的特點，從而實現(xiàn)對材料內(nèi)部缺陷的定性分析，在半導體封裝及材料等行業(yè)中得到廣泛應用?？煞直娉霾牧稀⒃骷?nèi)部的裂紋、空洞、氣泡、分層缺陷、雜質(zhì)等；廣泛用于測試各種元器件、SMT焊接器件、IGBT器件、MEMS器件、晶圓鍵合等內(nèi)部缺陷的無損檢測，是提供高分辨率且無損檢測的重要手段，和X-Ray, 電鏡等為互補檢測手段。

德國 PVA TePla– SAM 301 主要技術(shù)規(guī)格