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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司-專(zhuān)注歐美日多家半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)家高性?xún)r(jià)比優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信共創(chuàng)價(jià)值共贏(yíng)的企業(yè)文化,為廣大客戶(hù)提供最先進(jìn)的設(shè)備和材料的整體解決方案。應(yīng)用范圍: 半導(dǎo)體/微電路,微納技術(shù), 微電子,光電/光學(xué), 新材料等領(lǐng)域的研發(fā)和應(yīng)用, 客戶(hù)群體例如高等院校, 研究院所及科技企業(yè)等。
主要產(chǎn)品: 光刻機(jī)(針尖/電子束光刻機(jī)EBL,紫外光刻機(jī),激光直寫(xiě)光刻機(jī)),鍍膜機(jī)(磁控濺射機(jī),電子束蒸發(fā)機(jī),化學(xué)沉積機(jī),微波等離子沉積機(jī),原子層沉積機(jī)ALD),等離子刻蝕機(jī)ICP/RIE,去膠機(jī),雙光子微納3D系統(tǒng),準(zhǔn)分子激光器,化學(xué)液體顆粒度儀(純水,空氣), 原子力顯微鏡,電子顯微鏡/FIB-SEM,超聲波掃描顯微鏡, 開(kāi)封機(jī),太陽(yáng)能吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀,紫外臭氧清洗機(jī),UV清洗機(jī),晶圓清洗機(jī)等;配件/耗材:光刻機(jī)曝光燈,E-Chuck卡盤(pán),光刻膠/UV膠,晶圓/硅片/外延片,UV清洗燈等。
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