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寬帶厚膠
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| 類型 | 光刻膠型號(hào) | 適用光譜 | 厚度范圍/um | 分辨率 | 適用工藝 |
| 寬帶厚膠 | SU-8 10系列 | g/h/i-Line | 0.1-200 | 0.5um | 負(fù)性環(huán)氧類化學(xué)放大光刻膠，具有高深寬比，光刻后可以達(dá)到非常好的陡直度. |
| 導(dǎo)電SU-8（GCM3060） | 1-50 | 負(fù)性環(huán)氧類光刻膠；可導(dǎo)電、粘合性較好，圖層應(yīng)力降低 | |||
| SPR220 | g/h/i-Line | 1—30 | 1um | 正性光刻膠，用于MEMS和Bump工藝 | |
| NR26-25000P | g/h/i-Line | 20-130 | 負(fù)性光刻膠，適用于各類接觸式光刻機(jī)（mask aligner）、stepper、scanner | ||
| AZ P4620 | g/h/i-Line | 6—20 | 1um | 正性光刻膠 |
SU-8規(guī)格（常年現(xiàn)貨供應(yīng)）
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型號(hào) |
GM1010 |
GM1020 |
GM1030 |
GM1040 |
GM1050 |
GM1060 |
GM1070 |
GM1075 |
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厚度/um |
< 0.2 |
< 0.5 |
< 1.5 |
0.8-3.2 |
2.2-8.4 |
5-27 |
15-92 |
50-192 |
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