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40KHz與13.56MHz之間的差別
40KHz等離子體在能量轉(zhuǎn)化方面優(yōu)于13.56MHz，前者將更多的能量轉(zhuǎn)化為粒子動(dòng)能及化學(xué)活性，后者在等離子處理過(guò)程中產(chǎn)生的熱量比較多，也就是其中很多能量轉(zhuǎn)化為了熱能，所以就降低了粒子的動(dòng)能及化學(xué)活性。處理的效果就會(huì)不理想，或者是需要加特殊氣體和增加處理時(shí)間等等，我們的設(shè)備很多時(shí)候用空氣處理就能達(dá)到要求的效果，這是很多其他同類(lèi)設(shè)備無(wú)法達(dá)到的。13.56KHz等離子體電場(chǎng)中的頻率振蕩較高，相對(duì)于40KHz射頻等離子而言電子在轉(zhuǎn)變方向之前的運(yùn)動(dòng)距離更短。這意味著在每個(gè)運(yùn)動(dòng)周期中能夠到達(dá)器件表面的粒子數(shù)量更少，因此表面受到粒子撞擊減少，從而降低了清洗的效率和效果，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。40KHz射頻等離子體是最廣泛使用和通用性好的等離子體技術(shù)，它應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、醫(yī)療和通用工業(yè)的寬廣領(lǐng)域內(nèi)。在通用工業(yè)、半導(dǎo)體、微電子、醫(yī)療行業(yè)，需要清潔、涂覆或化學(xué)改性的材料表面被浸入到射頻等離子體的能量環(huán)境中，除了40KHz射頻等離子體的強(qiáng)烈的化學(xué)作用外，其攜帶動(dòng)量的粒子到達(dá)材料表面后可以物理地去除更加化學(xué)惰性的表面沉淀物（如金屬氧化物和其它無(wú)機(jī)物沉淀）以及交聯(lián)聚合物以達(dá)到清潔、活化目的。
應(yīng)該選用哪種頻率？
這個(gè)問(wèn)題無(wú)法直接回答而需要根據(jù)具體情況具體分析。目前kHz的電源是主要趨勢(shì)。kHz的設(shè)備能夠處理大約90%的客戶(hù)產(chǎn)品。
以下概述能夠幫助你決定選用何種頻率：
頻率40 kHz：
頻率13.56 MHz：
頻率2.45GHz：
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