類型

光刻膠型號(hào)

適用光譜

厚度范圍/um

分辨率

適用工藝

彩色光刻膠

EK 580A

i-Line

0.8—1.5

2um

黑色負(fù)性i-line光刻膠,阻擋可見(jiàn)光，較強(qiáng)的粘附性

RGB 彩色光刻膠

i-Line

0.8—1.4

4um

RGB彩色光阻，可通單色光

染色SU-8

g/h/i-Line

15-200

0.5um

負(fù)性環(huán)氧類化學(xué)放大光刻膠；
紅色、藍(lán)色、黃色、紫色、綠色、黑色；
應(yīng)用于Filter, colorfilter array (CFA), Color filter mosaic (CFM)