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◆ 飛秒激光和電流計(jì)鏡能夠精確地?zé)g高達(dá) 12 英寸（300 毫米）的晶圓。

◆ 無(wú)需使用小型封閉腔室即可對(duì)晶圓樣品進(jìn)行激光燒蝕，產(chǎn)生的粒子由噴射器吸入，并通過(guò)氣換裝置（GED）引入到電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）中。

◆ 雙注射器模型 MSAG_DS 能夠利用標(biāo)準(zhǔn)加入法在干等離子體條件下對(duì) ICP-MS 進(jìn)行定量分析。

◆ 可進(jìn)行超微量級(jí)的點(diǎn)和面傾斜度分析。

◆ 可進(jìn)行更深入（> 300 微米）的輪廓和雜質(zhì)分析。

◆ 兩個(gè)負(fù)載端口從 12 英寸（300 毫米）到 6 英寸（150 毫米）的晶圓，對(duì)準(zhǔn)器和晶圓傳輸機(jī)器人集成在一起，以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)操作（可選）

LAGM 軟件與 ICP-MS 軟件進(jìn)行通信，實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)操作。

_- 校準(zhǔn)模式：使用 MSAG_DS 獲取激光燒蝕樣品時(shí)的校準(zhǔn)曲線(xiàn)。

_- 全掃描模式：整個(gè)晶圓根據(jù)分析時(shí)間進(jìn)行激光剝蝕。LAGM 軟件會(huì)自動(dòng)計(jì)算 X-Y-Z-θ 平臺(tái)的移動(dòng)速度，以使整個(gè)晶圓均勻剝蝕。

_- 斑點(diǎn)模式：可自動(dòng)分析多個(gè)指定斑點(diǎn)。可導(dǎo)入 KLARF 格式文件中的斑點(diǎn)信息。

_- 直線(xiàn)模式：由兩個(gè)點(diǎn)指定的直線(xiàn)以指定的寬度連續(xù)進(jìn)行分析。

_- 塊模式：它類(lèi)似于直線(xiàn)模式，但會(huì)以指定的時(shí)間對(duì)指定大小的塊（例如1毫米×1毫米）進(jìn)行燒蝕。等待一段時(shí)間后，燒蝕塊旁邊的塊會(huì)被燒蝕。這種模式在空間分辨率方面優(yōu)于直線(xiàn)模式。

_- 深度剖面模式：對(duì)指定大小的同一位置進(jìn)行反復(fù)剝蝕，以獲取深度剖面信息。在剝蝕一層后可以設(shè)置間隔時(shí)間，這將使深度剖面的分辨率更高。

_- 傾斜模式：晶圓傾斜的多個(gè)指定區(qū)域能夠自動(dòng)進(jìn)行分析。

Expert_LA 型號(hào)包含兩個(gè)負(fù)載端口，通過(guò)為每個(gè)晶圓設(shè)置配方，能夠?qū)A樣本進(jìn)行全自動(dòng)分析。從其中一個(gè)負(fù)載端口取出一個(gè)樣本晶圓，在對(duì)晶圓進(jìn)行分析后，將其放回另一個(gè)負(fù)載端口。