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連續(xù)化學(xué)品樣品檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室 CSI_Lab
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連續(xù)化學(xué)品樣品檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室 CSI_Lab
化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室在實(shí)驗(yàn)室中監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體工藝中的化學(xué)物質(zhì)
連續(xù)化學(xué)采樣檢測(cè)（CSI）是一個(gè)用于監(jiān)測(cè)半導(dǎo)體行業(yè)中使用的化學(xué)品中微量金屬雜質(zhì)的系統(tǒng)。
在半導(dǎo)體器件制造中，許多不同類型的化學(xué)物質(zhì)被用于不同的目的，而化學(xué)物質(zhì)中的金屬雜質(zhì)會(huì)導(dǎo)致器件故障。
由于單片晶圓加工越來越普及，清洗和蝕刻過程中的交叉污染風(fēng)險(xiǎn)越來越小。相反，散裝化學(xué)品的污染會(huì)造成巨大的生產(chǎn)損失。散裝化學(xué)品的污染可能發(fā)生在將化學(xué)品從卡車或罐轉(zhuǎn)移到儲(chǔ)罐的過程中，或者在更換過濾器之后。
為避免化學(xué)品中的任何污染風(fēng)險(xiǎn)，化學(xué)源檢測(cè)公司（CSI）已使用一臺(tái)電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）對(duì)不同儲(chǔ)罐中的金屬雜質(zhì)進(jìn)行 24/7 的連續(xù)監(jiān)測(cè)。當(dāng)有卡車到來時(shí)，會(huì)立即對(duì)卡車上的樣本進(jìn)行分析，緊接著對(duì)當(dāng)前樣本進(jìn)行分析。
◆在線接口軟件（OIS） - OIS 是一款智能軟件，用于控制每個(gè)閥、自動(dòng)進(jìn)樣器和電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）。ICP-MS 用作檢測(cè)器，包括校準(zhǔn)曲線在內(nèi)的所有信息均由 OIS 管理。
OIS 具有以下功能
通過簡(jiǎn)化的標(biāo)準(zhǔn)加入法進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)和重新校準(zhǔn)。
- 檢查校準(zhǔn)曲線的相關(guān)系數(shù)、最小靈敏度、標(biāo)準(zhǔn)偏差（SD）和相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差（RSD），以及如果結(jié)果超出限值時(shí)的自動(dòng)重新分析功能。
定期檢查質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)（QC）。
- 兩個(gè)濃度上限，以及警報(bào)和輸出信號(hào)的產(chǎn)生。
在當(dāng)前樣本之后插入卡車或罐式樣本。
- 針對(duì)每種化學(xué)物質(zhì)更改電感耦合等離子體質(zhì)譜法（取決于電感耦合等離子體質(zhì)譜儀型號(hào)）。
每個(gè)樣本的濃度和計(jì)數(shù)的趨勢(shì)圖。
- 離線樣本分析
- 與遠(yuǎn)程接口的通信（可選）
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以下是通過 LT 模型分析的各種化學(xué)品的標(biāo)準(zhǔn)添加校準(zhǔn)曲線。所有化學(xué)品均依次進(jìn)行分析。
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