亚洲国产第6页在线电影_黄色日韩资源在线观看免费_天堂AV成年AV影视麻豆_水蜜桃视频在线_亚洲天堂视频网站_国AV级一级理论片_七七九九久久桃花综合影院_超清无码波多野吉衣中文_日韩无码一区精品国产中文字幕_91午夜激情一区

Syskey 反應(yīng)離子刻蝕機 RIE 

用于氧化物和氮化物蝕刻的 RIE 系統(tǒng)。氣體管線可實現(xiàn)硅基材料刻蝕。全自動作，支持一鍵工序。

配置和優(yōu)勢：
• 靈活的基板尺寸可達 12 英寸
• 基板支架水冷
• 優(yōu)異的薄膜均勻性，低于 ±5%
• 6 條反應(yīng)性氣體管路，適用于  蝕刻
• 使用選定的靶材蝕刻多層薄膜
• 負(fù)載鎖定是可選的
• 終點檢測器是可選的
• 背氦冷卻是可選的系統(tǒng)鍵