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UV-300H是一款高性能的緊湊型紫外線臭氧清洗機。通過滑動抽屜將基材裝入系統(tǒng)中。紫外線照射、高濃度臭氧和階段性加熱的獨特組合，可溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導體（GaN、SiC、GaAs、InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

• 最大加工尺寸為ø300mm（ø12英寸）。
• 200 - 300 nm/min的高灰化率。
• 加熱階段加快了清洗速度，實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。
• 通過調(diào)整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。
• 緊湊，使用最小的潔凈室空間
• 簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。
• 柔軟、完全干燥的工藝不會對基材造成電損傷。
• 抽屜聯(lián)鎖保證了當抽屜打開時系統(tǒng)無法工作。
• 內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

• 塑料包裝和引線框架的表面清潔。
• 復合半導體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗。
• 表面改性（潤濕性和附著力的改善
• 表面氧化(薄氧化層沉積)
• 光阻劑的灰化、剝離和除塵。
• 清除有機污染物
• 紫外線固化