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UV-300HC是一款高性能的盒式裝載UV臭氧清洗機，用于生產(chǎn)。這個行業(yè)領(lǐng)先的系統(tǒng)有2個裝載盒，可以達到200-300nm/min的高灰化率。該系統(tǒng)利用紫外線照射、高濃度臭氧和可控階段加熱的獨特組合，溫和而有效地去除硅、玻璃、化合物半導(dǎo)體（GaN、SiC、GaAs和InP）、藍寶石、陶瓷等各種基材上的有機物。

• 最大加工尺寸為ø240 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)
• 200 - 300 nm/min的高灰化率。
• 加熱階段加快了清洗速度，實現(xiàn)了寬廣的工藝溫度范圍。
• 通過調(diào)整平臺和石英擴散板之間的間隙，可以提高基板的均勻性。
• 緊湊，使用最小的潔凈室空間
• 簡單，在大氣壓下操作--不需要真空系統(tǒng)。
• 柔軟、完全干燥的工藝不會對基材造成電損傷。
• 內(nèi)置臭氧催化劑裝置，可將廢氣中的臭氧濃度降低到安全水平。

應(yīng)用

• 塑料包裝和引線框架的表面清潔
• 復(fù)合半導(dǎo)體(GaN、SiC、GaAs和InP)的表面清洗
• 表面改性（潤濕性和附著力的改善
• 表面氧化(薄氧化層沉積)
• 光阻劑的灰化、剝離和除塵
• 清除有機污染物
• 紫外線固化