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ASML 光刻機 Twinscan NXT:1980Di 

NXT:1980Di 雖然分辨率在38nm左右，但是通過多重曝光，依然可以支持到7nm左右。只不過，這樣步驟更為復(fù)雜，成本更高，良率可能也會有損失。據(jù)說臺積電的第一代7nm工藝也是基于 NXT:1980Di 實現(xiàn)的。

目前NXT:1980Di 更多還是被用于45nm以下成熟制程的生產(chǎn)

目前NXT:1980系列已經(jīng)升級到了NXT:1980 F，NXT:1980D是兩代之前的產(chǎn)品了。之前的NXT:1980 D/E都是基于NXT3平臺，F(xiàn)是新的NXT4平臺，每小時的生產(chǎn)晶圓數(shù)量從275wph上升到了295wph，而且NXT4平臺還能支持后續(xù)升級到330-350wph。