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SI 500 C 低溫感應(yīng)求耦合等離子體蝕刻機(jī)
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德國Sentech 低溫感應(yīng)求耦合等離子體蝕刻機(jī) SI 500 C
主要特點(diǎn)
?電極溫度 -150°C….+150°C
?PTSA 200 ICP 源
?動(dòng)態(tài)溫度控制
?高速泵送
應(yīng)用特點(diǎn)
·深硅蝕刻
·高縱橫比
·高靈敏度
技術(shù)特點(diǎn)
?-150°C...+150°C
?10 升/小時(shí) LN2 消耗量
?ICP，1100 瓦，13.56 MHz
?偏置，600 W，13.56 MHz
?1360 l/s 渦輪分子泵、旋轉(zhuǎn)或干式前級(jí)泵
?最大 8 英寸晶圓
?用于 12/16 條燃?xì)夤芫€的氣箱
?基于 Windows 的 SENTECH 操作軟件
?OES、SLI、襯板、腔室加熱、冷卻器、反應(yīng)器截止閥可選
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