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CHIPSCANNER 電子束光刻機(jī)
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德國(guó)Raith CHIPSCANNER 電子束光刻機(jī)
工藝控制與設(shè)計(jì)驗(yàn)證解決方案
納米技術(shù)的發(fā)展和生產(chǎn)需要在納米精度級(jí)別上進(jìn)行良好表征、穩(wěn)定的器件加工。CHIPSCANNER能夠以納米分辨率掃描cm2尺寸的芯片區(qū)域，并為3D分析提供出色的層間精度。
憑借高分辨率電子光學(xué)、多種高效電子探測(cè)器以及超精密激光干涉儀平臺(tái)技術(shù)的獨(dú)特組合，CHIPSCANNER不僅能夠提供超高精度的大面積SEM圖像，還為各種工藝控制應(yīng)用提供了基礎(chǔ)?；衔锇雽?dǎo)體晶圓廠、FA實(shí)驗(yàn)室和多用戶設(shè)施都受益于該系統(tǒng)集成的計(jì)量、檢測(cè)和設(shè)計(jì)驗(yàn)證功能。
可配置的平臺(tái)允許您根據(jù)需求和環(huán)境量身定制系統(tǒng)。包括高度傳感和工作管理軟件等高級(jí)功能支持在實(shí)驗(yàn)室和晶圓廠中實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。CHIPSCANNER提供的自動(dòng)化和靈活性使其成為具有最佳成像性能的最通用工藝控制系統(tǒng)。
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