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URE-2000/30D 多波段定制型紫外光刻機(jī)
URE-2000/30D多波段定制型紫外光刻機(jī),具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能
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產(chǎn)品詳情
URE-2000/30D多波段定制型紫外光刻機(jī)
1.技術(shù)參數(shù)
。 曝光面積:4 英寸
。 曝光波長(zhǎng) 1:365nm 或 405nm(可切換,更換濾光片),
。 曝光波長(zhǎng) 2:248nm
。 曝光位置 1 和曝光位置 2 自動(dòng)切換
。 分辨力:0.8-1μm
。 掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(標(biāo)準(zhǔn)配置,其他尺寸可定做)
。 樣片尺寸:直徑 ±10mm-- ±100mm 或者 15mm*15mm-100mm*100mm(標(biāo)準(zhǔn)配置,其他尺寸可定
做),可適應(yīng)厚度為 0.1mm--5mm(最大可擴(kuò)展為 15mm)
。 曝光方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式)
。 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能
。 照明不均勻性:3%(Φ100mm 范圍)
。 調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:
X: 優(yōu)于±5mm; Y: 優(yōu)于±5mm; θ:優(yōu)于±6º
。 最大焦厚:400μm(SU8 膠,用戶提供檢測(cè)條件)
。 光源平行性:<3º
。 曝光能量密度 1:>20mW/cm²(365 或 405nm),照明面溫度<35º
。 曝光能量密度 2:>3mw/cm²(248nm)
。 單層曝光一鍵完成
。 采用球氣浮自動(dòng)找平
。 汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口汞燈)
2.外形尺寸:約 1400mm(長(zhǎng))*900mm(寬) *1800mm(高)
3.配置
設(shè)備主要由均勻照明曝光系統(tǒng)、工件臺(tái)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動(dòng)控制系統(tǒng)及輔助配套設(shè)備構(gòu)成。