URE-2000A 型紫外單面光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：150mmX150mm
。曝光波長：365nm
。分辨力：0.8-1μm（膠厚 2 μm 的正膠）
。對(duì)準(zhǔn)精度：±0. 6μm
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。樣片尺寸：直徑Ф15mm-- Ф150mm（各種不規(guī)則片），厚度 0.1mm--5mm(可拓展至 15mm)
。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式），0.1s-9999s
。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
。照明不均勻性： 2.5%（Ф100mm 范圍）5%（Ф150mm 范圍）
。雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)最大倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對(duì)：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對(duì)：10 倍、16 倍、20 倍12
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
。掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。最大膠厚：500μm(SU8 膠)
。光源平行性：1.2°
。曝光能量密度：>18mW/cm2
。冷卻方式：循環(huán)水+風(fēng)冷
。曝光面溫度：<30°C
。汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口
2．外形尺寸：1400mm（長）x1200mm(寬)x1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。1000W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗,長壽命型)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
。循環(huán)水冷系統(tǒng)
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動(dòng)調(diào)
。承片臺(tái) 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
?；槔缴舷缕瑱C(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體13
。目鏡 3 對(duì)（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。物鏡 3 對(duì)（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
（4）CCD 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(選配)
。光源（配備品 3 只）、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）
。數(shù)據(jù)采集卡
。三維工件臺(tái)（兩套）
。CCD（2 只）
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(1000W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
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。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺(tái)（無油泵）
?？諌簷C(jī)一臺(tái)（靜音泵）
。管道
