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IXION 193 SLM 是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學(xué)計量、193 nm 步進光學(xué)元件校準或高功率 ArF 準分子激光器的帶寬控制等應(yīng)用。

其光譜帶寬小于 80 MHz，接近其理論傅里葉極限。

該系統(tǒng)的中心波長可在 185 至 194 nm 范圍內(nèi)定制，并可在購買時預(yù)先配置為固定波長。

系統(tǒng)可選配集成一臺絕對光譜精度為 0.001 nm 的高精度光譜儀。這可以最 大 程度地控制激光器的光譜調(diào)諧。