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德國光刻機用曝光燈HBO 200W/DC ,HBO 350W/S, HBO 1000W/D, HBO 5000W/S

詳細(xì)介紹

Micro Tecv公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)用光刻機，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國歐司朗公司生產(chǎn)的曝光燈進行配套供應(yīng)。歐司朗曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供德國光刻機配套的相關(guān)參數(shù)如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用德國光刻機型的曝光燈

燈管型號     壽命（H）    適用德國光刻機型

HBO 200W/DC    1000H       MJB3, MJB4

HBO 350W/S     600H       MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D    1000H      MA150,MA200,MA4,MA6, MA8

HBO 5000W/S    1000H      MA300