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Quantum XD 雙光子微納3D打印機
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德國Nanoscrib 雙光子微納3D打印機Quantum XD
重新定義精密加工。
全新的量子X是世界上基于雙光子灰度光刻(2GL)的工業(yè)系統(tǒng)。我們的設(shè)備結(jié)合了灰度光刻機的卓越性能和納米篩網(wǎng)首創(chuàng)的雙光子聚合技術(shù)的精確性和靈活性。該無掩模光刻系統(tǒng)實現(xiàn)了二維和2.5D的衍射和折射顯微光學(xué)的快速制作。
Quantum X軟件實時控制和監(jiān)控打印作業(yè)，并執(zhí)行自動系統(tǒng)校準。用戶-機器交互由專用觸摸屏或遠程控制界面支持。
關(guān)鍵特性
2.5 d高速精密加工
超光滑的表面和卓越的形狀精度設(shè)計自由度，亞微米分辨率完整和超快控制體素尺寸自動化過程，例如校準，
作業(yè)執(zhí)行和監(jiān)視
廣泛的基材樹脂組合，通過作業(yè)隊列觸摸屏和遠程控制界面，連續(xù)執(zhí)行各種打印作業(yè)
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Technical Specifications |
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Printing technology： |
Two-Photon Grayscale Lithography (2GL) |
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Minimum XY feature size： |
160 nm typical; 200 nm specified* |
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Finest XY resolution： |
400 nm typical; 500 nm specified* |
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Finest vertical steps： |
10 nm, quasi-continuous topographies possible |
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Minimum surface roughness Ra： |
≤ 10 nm* |
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Scan speed： |
≤ 250 mm/s* |
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Area printing speed： |
3 mm2/h typical for diffractive optical elements |
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