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Etchlab 380 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
咨詢購買
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德國Sentech反應(yīng)離子刻蝕機(jī) Etchlab 380
主要特點
·打開蓋子
·300 mm 晶圓
·380 毫米托架
·多片加工
應(yīng)用特點
·硅及相關(guān)材料的蝕刻
·金屬濺射
·亞微米蝕刻
技術(shù)特點
·600 瓦/1100 瓦,13.56 MHz
·360 升/秒渦輪分子泵
·旋轉(zhuǎn)前級泵
·打開蓋子
·多達(dá) 12 條燃?xì)夤芫€
·最大 300 mm 晶圓
·用于多個晶圓的 380 mm 載體
·設(shè)計緊湊,占地面積小
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