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PIONEER Two  電子束光刻機

Best of both worlds: Directwrite and direct view

PIONEER Two – 頂級技術(shù)，兼顧最佳：EBL與成像集成于單一系統(tǒng)

PIONEER Two 是所有對電子束光刻系統(tǒng)和分析型掃描電子顯微鏡在成像目的上有同等需求的大學(xué)和科學(xué)家的理想解決方案。

PIONEER Two 是一款理想的 EBL?SEM 混合系統(tǒng)，將專業(yè)電子束光刻和掃描電子顯微鏡的所有組件集成到一個完整的即裝系統(tǒng)之中。

該系統(tǒng)幾乎支持無限的納米光刻、成像和分析應(yīng)用帶寬。該系統(tǒng)架構(gòu)在設(shè)計時特別考慮了大學(xué)環(huán)境中的研究預(yù)算。同時，PIONEER Two 在線寬、拼接和疊加方面提供保證的電子束光刻性能。