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FR-Pro 膜厚測(cè)量?jī)x
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用于表征1nm-3mm厚度范圍內(nèi)的 涂層的模塊化和可擴(kuò)展平臺(tái)。FR-pRo 工具是為滿足用戶對(duì)各種不同無損表征應(yīng)用的需求而量身定制的，例如：薄膜厚度、折射率、顏色、透射率、反射率、溫度或環(huán)境受控環(huán)境或液體環(huán)境中的薄膜表征等等......
FR-pRo 工具由用戶選擇的模塊組裝而成。核心單元容納光源、光譜儀（適用于190nm-2500nm范圍內(nèi)的任何光譜范圍）以及控制和通信電子設(shè)備。該工具附帶一組參考樣品（Si 參考、SiO2/Si， Si3/N4/硅2/Si） 的 S然后，有各種各樣的配件，例如：
。用于反射率測(cè)量的薄膜厚度套件，
。FR-Mic 用于非常小區(qū)域的測(cè)量，
。手動(dòng)和電動(dòng)舞臺(tái)，
。用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測(cè)量的膠片/比色皿支架，
。用于在受控溫度或液體環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量的熱敏或液體套件
。用于漫反射和總反射的積分球
通過不同模塊的組合，最終設(shè)置滿足任何最終用戶的需求
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