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物鏡極靴^*1

超高分辨UHR

高分辨率HR

高傾斜HT

高襯度HC

分辨率

　點(diǎn)分辨率
晶格分辨率

0.17nm
0.1nm

0.19nm
0.1nm

0.21nm
0.1nm

0.26nm
0.14nm

能量分辨率

0.9 eV（零損失FWHM）

加速電壓

300kV，200kV,100kV^*2

　最小步長(zhǎng)
　能量位移

100V
最大3,000V (以0.2V為步長(zhǎng))

電子槍

　發(fā)射體

ZrO/W(100) 肖特基式

　亮度

≧7×10⁸ A/cm² ? sr

　真空度

3×10^-8Pa

　探針電流

探針直徑為1nm時(shí)，電流在0.5nA以上

穩(wěn)定度

　加速電壓

2×10^-6/min

　物鏡電流

1×10^-6/min

　過濾器透鏡電流

1×10^-6/min

物鏡

　焦距

2.7 mm

3.0 mm

3.5 mm

3.9 mm

　球差系數(shù)

0.6 mm

1.1 mm

1.4 mm

3.2 mm

　色差系數(shù)

1.5 mm

1.8 mm

2.2 mm

3.0 mm

　最小焦距步長(zhǎng)

1.0 nm

1.4 nm

1.5 nm

4.1 nm

束斑尺寸

　TEM 模式

2 ～ 5 nmφ

2 ～ 5 nmφ

7 ～ 30 nmφ

　EDS 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

4 ～ 20 nmφ

　NBD 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

-

　CBD 模式

0.4 ～ 1.6 nmφ

0.5 ～ 2.4 nmφ

-

電子束衍射

　衍射角(2α)

1.5 t～ 20 mrad

-

　取出角

±10 °

-

倍率

　MAG 模式

×2,500 ～ 1,500,000

×2,000 ～ 1,200,000

×1,500 ～ 1,200,000

　LOW MAG 模式

×100 ～ 3,000

　SA MAG 模式

×8,000 ～ 600,000

×6,000 ～ 500,000

×5,000 ～ 500,000

視野

10eV時(shí)狹縫寬度60mm(底片上)
2eV時(shí)狹縫寬度25mm(底片上)

相機(jī)長(zhǎng)度

　選區(qū)電子衍射

200 ～ 2,000 mm

250 ～ 2,500 mm

400 ～ 3,000 mm

EELS 散射

　能量選擇
　在能量選擇狹縫上

0.85 μm/eV , 300 kV

　底片上

100 ～ 220 μm/eV , 300kV

樣品室

　樣品移動(dòng)范圍 (XY/Z)

2mm/0.2mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

2mm/0.4mm

　樣品傾斜角 (X/Y)

±25°/±25°^*3

±35°/±30°^*3

±42°/±30°^*3

±38°/±30°^*3

EDS^*4

　固體角

0.13 sr

0.09 sr

　取出角

25°

20°