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美國 OAI 光刻機(jī) Model  200 型桌面掩模對準(zhǔn)器系統(tǒng)

完全手工操作

。輸出光譜范圍:Hg: G(436海里),H(405海里),I(365nm)和310nm線，Hg-Xe: 260nm和220nm或LED: 365nm, 395nm, 405nm

。襯底從塊大小8平方

?；Q拋擲和面具

。紫外燈功率范圍從200到2000 w

。選擇紫外LED光源(365 nm和405 nm)

?？諝廨S承真空吸盤

。接近(15-20um): & lt; 3.0 - 5.0, 軟接觸:2.0um，硬觸點(diǎn):1um和真空接點(diǎn):≤0.5um

。對齊模塊X, Y,和Z軸和θ

。雙通道光學(xué)反饋

。只提供正面接觸w / IR選項

?？捎迷谧烂孢x項只適用于研發(fā)及獨(dú)立工作

。.占用空間小

。適用于生物學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)、半導(dǎo)體和 Microfludics CLiPP應(yīng)用程序

Model 200 Table Top Mask Aligner System