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Nikon NSR-i12 I線步進(jìn)式光刻機(jī)
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I線步進(jìn)式光刻機(jī) / i-line stepper
型號(hào):Nikon NSR-i12
技術(shù)指標(biāo)及功能
廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)線,是6英寸,8英寸等主力I線生產(chǎn)機(jī)臺(tái),適用于I線光刻膠的曝光,操作簡(jiǎn)單,曝光精度準(zhǔn),解析力最高可達(dá)0.35UM (350NM)
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