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SmartNIL紫外納米壓印：HERCULES NIL

一、設(shè)備原理：

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的納米壓印系統(tǒng)，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的最新成員。 HERCULES NIL基于模塊化平臺，在單個平臺上將清洗模塊，抗蝕劑涂層模塊和烘烤預處理模塊與EVG的專有SmartNIL大面積納米壓?。∟IL）模塊結(jié)合在一起，用于直徑最大為300 mm的晶片。

這是第一個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng)，可為客戶提供最大的自由度來配置他們的系統(tǒng)，以最好地滿足其生產(chǎn)需求，包括200 mm和300 mm晶圓的互換功能。通過為大批量生產(chǎn)提供完整的NIL解決方案，HERCULES NIL增強了EVG在大面積NIL設(shè)備解決方案中的領(lǐng)導地位。 

二、應用范圍

HERCULES NIL納米壓印技術(shù)主要應用于如下方面：

1. 增強/虛擬現(xiàn)實（AR / VR）光學器件，
2. 3D傳感器，
3. 納米光子學
4. 等離子體光學
5. 納米壓印光柵；

三、主要特點及技術(shù)參數(shù)

1、主要特點：

. 最大產(chǎn)量高達40wafers每小時；

.“一站式服務(wù)”：將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回。

. 市場上最先進的納米壓印功能，

. 具有較低的力和保形壓印，

. 快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。

. 支持各種設(shè)備和應用程序的生產(chǎn)，全自動UV-NIL壓印和微力剝離

. 完全模塊化的平臺，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預處理）

. 200毫米/ 300毫米橋接工具能力

. 全區(qū)域覆蓋

. 批量生產(chǎn)最小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

. 支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀，包括3D

. 適用于高形貌（粗糙）表面

. 分辨率取決于過程和模板

. 優(yōu)化工藝鏈

. 具有軟工作模板制造能力，這是大批量生產(chǎn)的基石，不需要額外的壓印模板制造設(shè)備

. 該設(shè)備可以配置微型環(huán)境，以確保最低的缺陷率和最高質(zhì)量的原版復制。

2、技術(shù)參數(shù)

. 最多300毫米的基材

. 晶圓直徑（基板尺寸）100至200毫米（7200壓印模塊）/ 200至300毫米（7300壓印模塊）

. 解析度≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

. 支持流程：SmartNIL®

. 最大產(chǎn)量高達40wafe/小時

. 對準：≤±3微米

. 自動分離：支持

. 前處理：提供所有預處理模塊

. 迷你環(huán)境和氣候控制：可選

. 工作印章制作：支持的

• 模板尺寸：最大330*330mm
• 最大壓印面積：最大300*300mm
• 印章制備：支持工作模具制備，支持自動楔形脫模
• 曝光：曝光光源：高功率LED（i線）窄帶曝光；波長：300-500nm, 光強：~ 400 mW/cm2，光強均勻性：20%（6寸）
• 對準模塊：機械對位精度±200um，光學對位精度±3um
• 壓印微結(jié)構(gòu)尺寸范圍：40nm-2um；
• 壓印結(jié)構(gòu)分辨率：≤40納米
• 壓印殘留層厚度：≤20納米
• 滾壓印速度：2mm/s-16mm/s, 可以調(diào)節(jié)
• 圖形保型度：≥90%
• 支持傾斜光柵壓印，傾斜度45-90°
• 最多可配置8個模塊：清洗模塊，抗蝕劑涂層模塊，烘烤預處理模塊，EVG的專有SmartNIL大面積納米壓?。∟IL）
• 上下料機械手
• 內(nèi)部各模塊間傳遞系統(tǒng)
• 上料系統(tǒng)：4料盒自動上料
• SECS/GEM II: 可選。

公司簡介：

EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設(shè)有分公司，并在其他各地設(shè)有銷售代理及售后服務(wù)部，產(chǎn)品和服務(wù)遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設(shè)備的全球供應商，其豐富的產(chǎn)品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。

目前已有數(shù)千臺設(shè)備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領(lǐng)域。

EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設(shè)備的著名公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其專利的極其優(yōu)異的對準技術(shù)和世界領(lǐng)先的熱壓技術(shù)為納米壓印的成功實施打下了堅實的基礎(chǔ)。