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美Nano-master熱蒸鍍系統(tǒng)：

NTE-4000 獨(dú)立式電子束蒸鍍

NTE-3500 緊湊型獨(dú)立式熱蒸鍍

NTE-3000 雙蒸源臺式熱蒸鍍系統(tǒng)

NTE-1000 簡便型熱蒸鍍

熱蒸鍍系統(tǒng)可以跟NANO-MASTER那諾-馬斯特的其它任意真空系統(tǒng)組成雙系統(tǒng)。

NTE-4000是NTE-3000熱蒸鍍系統(tǒng)的獨(dú)立式配置，提供更大的空間用于更多的選擇，如不同的腔體尺寸、基片清洗、冷卻、共蒸鍍和濺射等功能。NTE-4000型立柜式系統(tǒng)（可支持更多的蒸發(fā)源，共蒸發(fā)能力，濺射能力，以及共濺射能力）。

NTE-3500緊湊型獨(dú)立式熱蒸鍍系統(tǒng)，觸摸屏監(jiān)控屏幕集成于柜體的手臂上，整個(gè)主機(jī)的占地面積僅26"x26"。可支持4個(gè)蒸發(fā)源，也可擴(kuò)展支持共蒸鍍和濺射能力

NTE-3000是一款計(jì)算機(jī)控制的雙蒸源臺式熱蒸鍍系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于有機(jī)物和金屬的蒸鍍。該系統(tǒng)使用2KVA的SCR電路來實(shí)現(xiàn)精確的溫度控制，這對有機(jī)材料蒸發(fā)非常關(guān)鍵。系統(tǒng)的設(shè)計(jì)特別關(guān)注在小的占地面積的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)干凈、均勻和可重復(fù)的工藝。這是一套具有低成本高品質(zhì)特性的系統(tǒng)，可滿足科研和小規(guī)模生產(chǎn)需求。

NTE-1000型單蒸發(fā)源的臺式系統(tǒng)，

特點(diǎn)：

** 12英寸鐘罩式/10”圓柱不銹鋼/14”立方型不銹鋼腔體
** 最大7英寸×7英寸方形和直徑200毫米圓形晶圓
** 雙蒸發(fā)源
** 水冷樣品臺和水冷保護(hù)
** 固態(tài)開關(guān)用于序列蒸鍍用
** SCR用于精確控制電流
** 獨(dú)立蒸發(fā)源及基片遮板
** 防交叉污染擋板
** 晶振膜厚監(jiān)控系統(tǒng)
** 可以以目標(biāo)膜厚作為工藝的終點(diǎn)條件
** 旋轉(zhuǎn)鎖緊件方便裝卸片
** 基片旋轉(zhuǎn)
** 閉環(huán)蒸鍍控制
** 基于計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制，菜單驅(qū)動(dòng)
** LabView友好用戶界面
** 支持不限數(shù)量的程序每程序支持1-100個(gè)步驟
** 全自動(dòng)工藝控制，高重復(fù)性
** EMO保護(hù)及安全聯(lián)鎖

選配：

** 基板可加熱(最高到800°C)或水冷
** 旋轉(zhuǎn)GLAD斜角入射沉積
** 行星運(yùn)動(dòng)樣品臺
** 增加熱蒸發(fā)電源用于共蒸發(fā)
** 增加蒸發(fā)源(最大到6個(gè)蒸發(fā)源)
** 更大尺寸的基片應(yīng)用
** RF/DC偏壓
** 離子源用于基片清洗
** 靶槍用于濺射
** 增加MFC用于支持反應(yīng)濺射/蒸鍍
** 自動(dòng)上下片
** 包含冷泵在內(nèi)的各種泵選項(xiàng)

應(yīng)用：

** IC互連中的金屬鍍膜
** CIGS太陽能電池應(yīng)用中的金屬接觸層
** 有機(jī)場效應(yīng)晶體管
** 鈣鈦礦太陽能電池應(yīng)用
** OLED
** 對容易氧化的比如銦等金屬材料的蒸鍍
** 其它涉及到熔點(diǎn)在2000C以內(nèi)的金屬的蒸發(fā)鍍膜
** 其它涉及到熔點(diǎn)在600C以內(nèi)的有機(jī)物的蒸發(fā)鍍膜