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美Nano-master等離子清洗/灰化系統(tǒng)

NPC-4000 獨(dú)立式等離子清洗去膠系統(tǒng)

NPC-3500 緊湊型獨(dú)立式等離子清洗去膠系統(tǒng)

NPC-3000 臺(tái)式等離子清洗去膠系統(tǒng)

NPC-1000 臺(tái)式簡(jiǎn)化型等離子清洗去膠系統(tǒng)

NANO-MASTER等離子清洗和灰化系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于廣泛的需求，從批處理和單晶圓的光刻膠剝離到晶圓表面改性都可以涵蓋。這些系統(tǒng)通過計(jì)算機(jī)控制，可以配套不同的等離子源，加熱和不加熱的基片夾具，以及獨(dú)一無二的從等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式的能力。

特點(diǎn)：

** 不銹鋼、鋁以及鐘罩式腔體
** 超凈設(shè)計(jì)，兼容百級(jí)超凈間使用
** 淋浴頭RF離子源
** 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
** 260L/Sec抽速的渦輪分子泵
** 極限真空5x10-7Torr
** 偏壓樣品臺(tái)可加熱到300°C(PID精確控溫)或冷卻樣品臺(tái)
** 自動(dòng)或手動(dòng)RF調(diào)諧器
** 最多4路帶電拋光不銹鋼氣體管路的MFC
** 全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制，菜單驅(qū)動(dòng)
** 基于LabVIEW的觸摸屏友好用戶界面
** 計(jì)算機(jī)控制的氣動(dòng)閥
** 基于計(jì)算機(jī)的全自動(dòng)工藝控制，菜單驅(qū)動(dòng)
** LabView友好用戶界面
** EMO及安全聯(lián)鎖

選配：

** 前級(jí)泵升級(jí)為干泵
** 自動(dòng)上下片
** 增加MFC升級(jí)為更高型號(hào)
** 升級(jí)為ICP源或微波源

應(yīng)用：

** 失效分析
** 無殘留去除有機(jī)和無機(jī)材料
** 光刻膠剝離或灰化
** 去殘?jiān)吧罡g
** 清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅引線框架
** 提高粘附性，消除鍵合問題
** 塑料品表面改性：O2處理提高涂覆性能
** 生成親水或疏水表面