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鍍膜沉積系統(tǒng) > iplas德微波等離子化學(xué)氣相沉積

iplas Mpcvd 915MHz 微波等離子化學(xué)氣相沉積

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德國iplas微波等離子化學(xué)氣相沉積 iplas Mpcvd 915MHz 系統(tǒng),德國 iplas公司的獨(dú)家專利多天線耦合微波等離子技術(shù)（CYRANNUS®），可在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)極高的 SP3 鍵轉(zhuǎn)化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善，這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。

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德國iplas微波等離子化學(xué)氣相沉積 iplas Mpcvd 915MHz 系統(tǒng)

MPCVD 法是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場的作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進(jìn)了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團(tuán)及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應(yīng)氣體的離化程度，達(dá)到輝光發(fā)電，產(chǎn)生更高密度的等離子體。德國 iplas公司的獨(dú)家專利多天線耦合微波等離子技術(shù)（CYRANNUS®），可在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)極高的 SP3 鍵轉(zhuǎn)化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善，這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。德國 iplas 推出的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MPCVD），其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式，壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍，可制備大尺寸、優(yōu)質(zhì)金剛石（工藝參數(shù)得當(dāng)可制備出首飾級鉆石）和高均勻性的金剛石厚膜。

1. CYRANNUS 技術(shù)采用多天線激發(fā)技術(shù)，開創(chuàng)性解決了高氣壓下等離子體團(tuán)不穩(wěn)定、閃爍的問題?？梢栽诟叩墓β剩?00kw）更高的氣壓（室壓）下仍然保持穩(wěn)定的等離子體團(tuán)，因此為高速生長優(yōu)質(zhì)金剛石膜提供了可能。

2. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)配合 Iplas 專利的 E-H 調(diào)節(jié)器，可對前向和反射微波功率進(jìn)行調(diào)節(jié)和測量。反射功率可以控制在 5%以下。

3. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)的高能量密度保證了極高的 SP3 鍵的轉(zhuǎn)換率，相較于傳統(tǒng)等離子技術(shù) CVD 系統(tǒng)，可以獲得更高品質(zhì)的金剛石。

4. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)將激發(fā)的等離子體管的加熱效應(yīng)有限，風(fēng)冷+水冷的冷卻措施可以防止反應(yīng)壁過熱的問題。

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