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SUSS蘇斯，EVG, OAI公司生產(chǎn)的半導(dǎo)體和太陽(yáng)能行業(yè)用光刻機(jī)，目前得到業(yè)界的廣泛認(rèn)同，該系列光刻機(jī)曝光系統(tǒng)的曝光燈，主要是由德國(guó)歐司朗Osram及日本牛尾公司生產(chǎn)的曝光燈進(jìn)行配套供應(yīng)。歐司朗/牛尾曝光燈系列，具備良好的光通量，穩(wěn)定的光強(qiáng)度以及優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)受到業(yè)界的青睞。目前供蘇斯光刻機(jī)配套的相關(guān)參數(shù)如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

適用SUSS蘇斯光刻機(jī)型的曝光燈

以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù),適用于SUSS蘇斯，EVG, OAI等光刻機(jī)：