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FR-Scanner自動化超高速精準薄膜厚度測量儀
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FR-Scanner: 自動化超高速精準薄膜厚度測繪
FR-Scanner 是一款緊湊的臺式測量工具，全自動測繪涂層的厚度，基底適用于晶圓，掩膜版及其它材料。FR-Scanner 可以快速和準確地測量薄膜特性，比如厚度，折射系數(shù)，均勻性，色度等，真空吸盤可應用于任何直徑或其它形狀的樣品。
FR-Scanner 通過旋轉(zhuǎn)晶圓片和以無與倫比的速度和精度(半徑和角度)線性移動晶圓片進行掃描整個晶圓片，通過這種方式，可以記錄具有高重復性的精確反射率數(shù)據(jù)，使FR-Scanner成為at-line及on-line測繪晶圓上的涂層或其他基片上涂層的理想工具。
FR-Scanner提供了廣泛的應用配置，薄膜薄到幾納米，厚到幾百微米，并配置專用的軟件用于日常使用。FR-Scanner在準確性、精度、再現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性方面都提供了出色的性能。
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Applications應用
。 半導體生產(chǎn)制造：(photoresists, dielectrics,poly- Si, a-Si, DLC,photonic multilayerstructures)
。 PV Industry光伏產(chǎn)業(yè)
。 Univ. & Research labs 大學，研究所，實驗室
。 Liquid Crystal Display 液晶顯示
。 Optical Coatings 光學薄膜
。 Polymers 聚合物
。 MEMS and MOEMS 微機電和微光機電
。 基底: 透明和半透明 transparent (glass, quartz, etc.) and semi transparent
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