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MPCVD 法是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的 作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進(jìn)了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團(tuán)及分子之間的 相互碰撞，從而有效地提高反應(yīng)氣體的離化程度，達(dá)到輝光發(fā)電，產(chǎn)生更高密度的等離子體。德國(guó) iplas 公司的獨(dú)家專(zhuān)利多天線耦合微波等離子技術(shù)（CYRANNUS®），可在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)極高的 SP3 鍵轉(zhuǎn) 化率，使得腔體中充滿過(guò)飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積 質(zhì)量得到改善，這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。德國(guó) iplas 推出的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MPCVD），其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式，壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍，可制 備大尺寸、優(yōu)質(zhì)金剛石（工藝參數(shù)得當(dāng)可制備出首飾級(jí)鉆石）和高均勻性的金剛石厚膜。

1.CYRANNUS 技術(shù)采用多天線激發(fā)技術(shù)，開(kāi)創(chuàng)性解決了高氣壓下等離子體團(tuán)不穩(wěn)定、閃爍的問(wèn)題。

可以在更高的功率（100kw）,更高的氣壓（室壓）下仍然保持穩(wěn)定的等離子體團(tuán)，因此為高速 生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)金剛石膜提供了可能。

2.  CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)配合 Iplas 專(zhuān)利的 E-H 調(diào)節(jié)器，可對(duì)前向和反射微波功率進(jìn)行調(diào)節(jié) 和測(cè)量。反射功率可以控制在 5%以下。

3.  CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)的高能量密度保證了極高的 SP3 鍵的轉(zhuǎn)換率，相較于傳統(tǒng)等離子技 術(shù) CVD 系統(tǒng)，可以獲得更高品質(zhì)的金剛石。

4.  CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)將激發(fā)的等離子體團(tuán)集中在腔體中，遠(yuǎn)離石英管，所以對(duì)石英管的加熱效應(yīng)有限，風(fēng)冷+水冷的冷卻措施可以防止反應(yīng)壁過(guò)熱的問(wèn)題。

德國(guó)造出 155 克拉世界最大合成鉆石  研究耗時(shí) 26 年

鉆石因其璀璨奪目的外表和高昂的市場(chǎng)價(jià)值被大家追捧，但天然鉆石的產(chǎn)量有限。最近，德國(guó)就造出 了世界上最大的合成鉆石。

德國(guó)奧格斯堡大學(xué)的研究人員研發(fā)出了一種在大約十分之一大氣壓力下，通過(guò)化學(xué)氣相沉積法專(zhuān)門(mén)制 造合成鉆石的方法。用這種方法合成的鉆石就是在低壓條件下，采用一定方法激活含碳?xì)怏w，使其中 的碳原子在基底上過(guò)飽和沉積、生長(zhǎng)成鉆石。

奧格斯堡大學(xué)的這項(xiàng)研究始于 1991 年，已經(jīng)經(jīng)歷了 26 年。而這顆 155 克拉的盤(pán)型單晶鉆石的直徑

比鑲在英國(guó)女王權(quán)杖上的，世界上有名的巨型鉆石之一，“庫(kù)利南 1 號(hào)”的直徑還要大。盡管盤(pán)狀結(jié) 構(gòu)合成鉆石在珠寶中的應(yīng)用潛力十分有限。但領(lǐng)導(dǎo)這項(xiàng)研究的物理學(xué)家施雷克表示，這項(xiàng)技術(shù)的工業(yè) 應(yīng)用將十分廣泛。

聯(lián)系人：Johny廖敬強(qiáng)：13538131258 , johny.liao@lxyee.net