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Iplas公司與1997 年在德國科隆由Hildegard Sung-Spitzl博士及其丈夫Ralf Spitzl博士建立。兩位創(chuàng)世人在基礎(chǔ)物理和應(yīng)用物理領(lǐng)域具有淵博的知識(shí)，并在等離子技術(shù)領(lǐng)域具有深厚的研究開發(fā)經(jīng)驗(yàn)。
Ralf Spitzl 博士至今已有逾三十多年的等離子物理研究經(jīng)歷，Ralf Spitzl 博士于 1996 年發(fā)明了CYRANNUS®等離子源，并與 1998 年取得了CYRANNUS®的第一個(gè)專利。2003 年 Iplas 制造了16" CYRANNUS® I 等離子源，是世界上最大的可在大氣壓下運(yùn)行的商用等離子源，同年因其CYRANNUS® 技術(shù)的卓越性能，iplas 和美國阿貢國家實(shí)驗(yàn)室共同獲得 R&D100 獎(jiǎng)項(xiàng)。今天 Iplas已經(jīng)擁有等離子技術(shù)領(lǐng)域的 20 余項(xiàng)國際專利。
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MPCVD 法是在微波能量的作用下，將沉積氣體激發(fā)成等離子體狀態(tài)，在由微波產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的作用下，腔體內(nèi)的電子相互碰撞并產(chǎn)生劇烈的振蕩，促進(jìn)了諧振腔內(nèi)其它的原子、基團(tuán)及分子之間的相互碰撞，從而有效地提高反應(yīng)氣體的離化程度，達(dá)到輝光發(fā)電，產(chǎn)生更高密度的等離子體。德國 iplas公司的獨(dú)家專利多天線耦合微波等離子技術(shù)（CYRANNUS®），可在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)極高的 SP3 鍵轉(zhuǎn)化率，使得腔體中充滿過飽和原子氫和含碳基團(tuán)，從而有效地提高了沉積速率并且使得金剛石的沉積質(zhì)量得到改善，這正是獲取優(yōu)質(zhì)金剛石的技術(shù)基礎(chǔ)。德國 iplas 推出的微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MPCVD），其真空室的形式為金屬腔-石英管一體式，壓力操作范圍從 10mbar 到室壓范圍，可制備大尺寸、優(yōu)質(zhì)金剛石（工藝參數(shù)得當(dāng)可制備出首飾級(jí)鉆石）和高均勻性的金剛石厚膜。
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1. CYRANNUS 技術(shù)采用多天線激發(fā)技術(shù)，開創(chuàng)性解決了高氣壓下等離子體團(tuán)不穩(wěn)定、閃爍的問題。可以在更高的功率（100kw）,更高的氣壓（室壓）下仍然保持穩(wěn)定的等離子體團(tuán)， 因此為高速生長(zhǎng)優(yōu)質(zhì)金剛石膜提供了可能。
2. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)配合 Iplas 專利的 E-H 調(diào)節(jié)器，可對(duì)前向和反射微波功率進(jìn)行調(diào)節(jié)和測(cè)量。反射功率可以控制在 5%以下。
3. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)的高能量密度保證了極高的 SP3 鍵的轉(zhuǎn)換率，相較于傳統(tǒng)等離子技術(shù) CVD 系統(tǒng)，可以獲得更高品質(zhì)的金剛石。
4. CYRANNUS 多天線耦合技術(shù)將激發(fā)的等離子體 管的加熱效應(yīng)有限，風(fēng)冷+水冷的冷卻措施可以防止反應(yīng)壁過熱的問題。
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德國造出 155 克拉世界最大合成鉆石 研究耗時(shí) 26 年
鉆石因其璀璨奪目的外表和高昂的市場(chǎng)價(jià)值被大家追捧，但天然鉆石的產(chǎn)量有限。最近，德國就造出了世界上最大的合成鉆石。
德國奧格斯堡大學(xué)的研究人員研發(fā)出了一種在大約十分之一大氣壓力下，通過化學(xué)氣相沉積法專門制造合成鉆石的方法。用這種方法合成的鉆石就是在低壓條件下，采用一定方法激活含碳?xì)怏w，使其中的碳原子在基底上過飽和沉積、生長(zhǎng)成鉆石。
奧格斯堡大學(xué)的這項(xiàng)研究始于 1991 年，已經(jīng)經(jīng)歷了 26 年。而這顆 155 克拉的盤型單晶鉆石的直徑比鑲在英國女王權(quán)杖上的，世界上有名的巨型鉆石之一，“庫利南 1 號(hào)”的直徑還要大。盡管盤狀結(jié)構(gòu)合成鉆石在珠寶中的應(yīng)用潛力十分有限。但領(lǐng)導(dǎo)這項(xiàng)研究的物理學(xué)家施雷克表示，這項(xiàng)技術(shù)的工業(yè)應(yīng)用將十分廣泛。
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德國 iplas 大事記
1996 年 iplas 創(chuàng)始人之一 Ralf Spitzl 博士提出 CYRANNUS®多天線耦合等離子源概念
1999 年 iplas 公司發(fā)明線形 CYRANNUS®專利技術(shù)
2000 年 iplas 創(chuàng)始人之一 Sung-Spitzl 博士作為女性企業(yè)家因取得杰出成就獲得德國政府表彰
2000 年 iplas 授予歐洲專利權(quán)
2001 年 iplas 授予美國專利權(quán)
2002 年 iplas 發(fā)起 CYRANNUS®多天線耦合技術(shù)研討會(huì)
2002 年 iplas 公司新的工廠投入使用，占地面積 1,500 平方米
2003 年 iplas 推出 16 英寸 CYRANNUS®系統(tǒng)，成為全球最大的可在常壓下工作的商業(yè)化微波 等離子系統(tǒng)
2003 年 iplas 及美國能源部最大的研究中心阿貢實(shí)驗(yàn)室由于 CYRANNUS®多天線耦合技術(shù)而獲得“R&D 100 Award”獎(jiǎng)
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