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日本RION測光阻專用液體粒子計(jì)數(shù)器: KS-41A, KS-41B

液體光學(xué)顆粒度儀 KS-41A

.可偵測到光阻產(chǎn)品中最小粒徑 0.1um 的顆粒（最小可定制到0.7um）流量為 5mL/min。（用于測試透明液體如純水）

. 可自行設(shè)定的粒徑范圍 0.1~0.5um，通過 KE-40B1 的控制器可

擴(kuò)充至 10 個(gè)通道

出廠設(shè)定為 5 通道：0.1/0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um

.可以連接多個(gè)監(jiān)控系統(tǒng)。

使用液體粒子計(jì)數(shù)器的主要領(lǐng)域：

液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料，比如SOG(旋轉(zhuǎn)涂布玻璃）和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑（比如堿、有機(jī)溶劑和氫氟酸）。另外，也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。