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美國(guó) SONIX 超聲波掃描顯微鏡:ECHO-VS, ECHO Pro™全自動(dòng)超聲波掃瞄顯微鏡, 晶圓檢測(cè)設(shè)備 AutoWafe Pro, 封裝檢測(cè)設(shè)備ECHO-LS:

SONIX™公司是世界500強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司，是全球超聲波掃描檢測(cè)儀和無損檢測(cè)設(shè)備的領(lǐng) 先制造商。 自1986年成立以來，SONIX™在無損檢測(cè)領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是第 一家基于微機(jī)平臺(tái)，提供全數(shù)字化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力于技術(shù)革新，提供給客戶最 領(lǐng)先的聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)。

SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用于各種材料的無損檢測(cè)，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進(jìn)元件。 擁有獨(dú)立開發(fā)的軟件，硬件和專利技術(shù)，這么多年來通過和客戶的不斷合作，實(shí)現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)。 SONIX™ 努力提供最 準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，完美的圖像質(zhì)量，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

SONIX 軟件優(yōu)勢(shì)

● 可編程掃描，自動(dòng)分析
    定制掃描程序，一鍵開始掃描，自動(dòng)完成分析，生成數(shù)據(jù)

● FSF表面跟蹤線
    樣品置于不平的情況下，自動(dòng)跟蹤平面，獲取同一層面圖片      

● ICEBERG離線分析
    存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后，可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析

● TAMI斷層顯微成象掃描
    無需精 確選擇波形，可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度，一次掃描可獲得200張圖片，最 快速完成分析。

SONIX 軟件 -  應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能

SONIX^TM 的Flexible TAMI^TM設(shè)計(jì)

專為需要檢測(cè)由不同層厚和材料組成的多層封裝產(chǎn)品,例如:

● 3-D架構(gòu)
● Stacked Die
● Bonded wafers
● Wafer 級(jí)封裝 (WLP)
● 塑封Flip Chips

SONIX 硬件優(yōu)勢(shì)

● 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    模塊化設(shè)計(jì)使得結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定，易于維護(hù)

● 高速、穩(wěn)定的馬達(dá)設(shè)計(jì)
    掃描軸采用最 先進(jìn)的線性伺服馬達(dá)，提供高 速、穩(wěn)定、無磨損的掃描

● 專利的超聲波探頭/透鏡
    提供精 確的缺陷檢驗(yàn)，最 小能探測(cè)到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術(shù)
    反射及透射同時(shí)掃描，有效提高元器件分析效率

  封裝檢測(cè)設(shè)備

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

晶圓夾具 (與可調(diào)的托盤夾具搭配使用)   (NEW !!)

配件編號(hào): 600-5200
使用平臺(tái): ECHO LS, ECHO, ECHO VS

應(yīng)用: 300mm 晶圓

優(yōu)點(diǎn):
• 可以簡(jiǎn)單的與 Sonix 專 利申請(qǐng)中的可調(diào)的托盤夾具搭配使用
• 安全固定 300mm 晶圓, 提供最 佳的成像能力
• 適用于有翹曲的晶圓, 保持晶圓平整
• 適用于現(xiàn)有的 ECHO 機(jī)型平臺(tái)