美國(guó)Filmetrics 薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)F20，F(xiàn)30，F(xiàn)40，F(xiàn)50，F(xiàn)60，F(xiàn)3-XXT 系列

F20 系列

世界上最暢銷的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

只需按下一個(gè)按鈕，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows™系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.

選擇您的F20主要取決于您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）

F20系列型號(hào)規(guī)格,            *取決于薄膜種類

F30 系列

監(jiān)控薄膜沉積，最強(qiáng)有力的工具

F30光譜反射率系統(tǒng)能實(shí)時(shí)測(cè)量學(xué)沉積率，沉積層厚度，光學(xué)常數(shù)（N或K值）和半導(dǎo)體以有電介層的均勻性。

樣品層

分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積：可以測(cè)量平滑和半透明的，或輕度吸收的薄膜。這實(shí)際上包括從氮化鎵侶到鎵銦磷砷的任何半導(dǎo)體材料。

F30系列型號(hào)規(guī)格，*取決于薄膜種類

        常見選購(gòu)配件：鏡頭組

各項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):

• 。極大地提高生產(chǎn)力  ，                                     
• 。低成本 —幾個(gè)月就能收回成本
• 。A精確 — 測(cè)量精度高于 ±1%
• ?？焖?— 幾秒鐘完成測(cè)量
• 。非侵入式 — 完全在沉積室以外進(jìn)行測(cè)試

F40 系列

將您的顯微鏡變成薄膜測(cè)量工具

F40 產(chǎn)品系列用于測(cè)量小到 1 微米的光斑。 對(duì)大多數(shù)顯微鏡而言，F(xiàn)40 能簡(jiǎn)單地固定在 c 型轉(zhuǎn)接器上，這樣的轉(zhuǎn)接器是顯微鏡行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配件。

F40 配備的集成彩色攝像機(jī)，能夠?qū)y(cè)量點(diǎn)進(jìn)行準(zhǔn)確監(jiān)控。 在 1 秒鐘之內(nèi)就能測(cè)定厚度和折射率。 像我們所有的臺(tái)式儀器一樣，F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內(nèi)完成設(shè)定。

F40系列型號(hào)規(guī)格，*取決于薄膜種類

包含的內(nèi)容：

• 集成光譜儀/光源裝置
• FILMeasure 8 軟件
• FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)
• MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 顯微鏡轉(zhuǎn)接器
• 光纖連接線
• BK7 參考材料
• TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)
• BG-Microscope (作為背景基準(zhǔn))

F50 系列

自動(dòng)化薄膜測(cè)繪

Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測(cè)!)

測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法，并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長(zhǎng)范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是最受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長(zhǎng) (例如， F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

F50系列型號(hào)規(guī)格，*取決于薄膜種類

包含的內(nèi)容：

• 集成光譜儀/光源裝置
• 光纖電纜
• 4", 6" and 200mm 參考晶圓
• TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
• BK7 參考材料
• 整平濾波器 (用于高反射基板)
• 真空泵
• 備用燈

F60：生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)化厚度映射

Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引，但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動(dòng)缺口查找，自動(dòng)機(jī)載基線測(cè)量，帶運(yùn)動(dòng)互鎖的封閉式測(cè)量平臺(tái)，預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī)以及升級(jí)到完全自動(dòng)化晶圓處理的選項(xiàng)。

不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長(zhǎng)范圍進(jìn)行區(qū)分。通常需要較短波長(zhǎng)（例如F60-t-UV）來測(cè)量較薄的膜，而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)允許測(cè)量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F60系列型號(hào)規(guī)格，*取決于薄膜種類

包含的內(nèi)容：

• 常見選購(gòu)配件：集成平臺(tái)/光譜儀/光源裝置（不含平臺(tái)）
• 4", 6" and 200mm 參考晶圓
• TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)
• 真空泵
• 備用燈

F3-sX 系列

F3-sX 系列能測(cè)量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳

波長(zhǎng)選配

F3-sX系列使用近紅外光來測(cè)量薄膜厚度，即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),??F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片的最佳化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了最厚的薄膜設(shè)計(jì)。

附件

附件包含自動(dòng)化測(cè)繪平臺(tái)，一個(gè)影像鏡頭可看到量測(cè)點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長(zhǎng)的功能使厚度測(cè)量能力最薄至15奈米。

 F3-sX 系列 型號(hào)規(guī)格，*取決于薄膜種類

 包含的內(nèi)容：

• 集成光譜儀/光源裝置
• 光斑尺寸10微米的單點(diǎn)測(cè)量平臺(tái)
• FILMeasure 8反射率測(cè)量軟件
• Si 參考材料
• FILMeasure 獨(dú)立軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)

F3-XXT 系列

F3-XXT專門設(shè)計(jì)用于測(cè)量非常厚的層，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中經(jīng)常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness軟件模塊，可以在幾分之一秒內(nèi)測(cè)量5μm至1000μm厚的硅。視頻成像可以與SampleCam-XXT一起添加。

XY8自動(dòng)階段可以添加自動(dòng)XY映射功能。自動(dòng)對(duì)焦選項(xiàng)也可用。

為了測(cè)量更薄的層（小于0.1μm），可以添加可見波長(zhǎng)光譜儀。

與我們所有的厚度測(cè)量?jī)x器一樣，F(xiàn)3連接到Windows™計(jì)算機(jī)的USB端口，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。